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全封閉式桌面顯影機 主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝,性?xún)r(jià)比高,穩定性好,重復性好,對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動(dòng),實(shí)現自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。
全新外觀(guān)設計,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作 *進(jìn)的設計理念,模塊化設計 可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制 配載精密的運動(dòng)控制系統,提高實(shí)驗精度及重復性
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