臺式勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。臺式勻膠機的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,臺式勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
臺式勻膠機的使用注意事項:
1、請使用本機規定的電源;
2、要防止電源線(xiàn)壓在機腳下,以防損傷電源線(xiàn)導致觸電;
3、每次開(kāi)機前要注意將“控制”、“吸片”鍵抬起,以避免未啟動(dòng)時(shí)電機即轉;
4、不同片子選用不同規格的片托,片子不能小于片托外形尺寸,否則,一是漏氣,二是膠會(huì )通過(guò)片托上的吸氣槽吸到光電盤(pán)吸氣孔,抽氣室及抽氣管道,長(cháng)期使用發(fā)生堵塞;
5、勻膠機在使用后要注意清洗,避免膠將抽氣孔堵塞,清洗方法是:取下片托和盛膠器進(jìn)行清洗,然后再裝上即可;
6、按下“吸氣”鍵應聽(tīng)到電磁閥的動(dòng)作聲,如果有噪聲可反復按此鍵即可消除;
7、本機一旦出現故障或異常情況請立即切斷電源。
8、本機無(wú)吸氣和電機連鎖裝置,在氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機也可運轉產(chǎn)生飛片,故在啟動(dòng)電機前須確認吸片確已吸住。
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