勻膠機轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。主要用于液體,膠體的成膜性能試驗,表面涂覆。
勻膠機的產(chǎn)品特點(diǎn):
1、采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長(cháng),保證勻膠均勻。
2、5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段,*多100個(gè)階段。
3、內置水平校準裝置,**限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
4、多重安全保護。
5、電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證安全。
6、蓋子自鎖功能,防止飛片蓋開(kāi)傷人。
7、雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實(shí)驗人員安全。
8、一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
9、不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán),PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
10、適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。